随着晶圆制造工艺向更高制程（如14nm以下节点）和更大尺寸（12英寸成为主流）演进，晶圆厂对自动化物料搬运系统（Automatic Material Handling System，AMHS）的需求大幅上升，对物流系统的效率、精度和稳定性要求达到前所未有的高度。

屠杰在演讲中指出：'12英寸晶圆厂已成为行业主流，其生产规模大、工艺复杂、对良率敏感性高，对AMHS天车系统提出了极致要求。'

针对12英寸晶圆厂在物流系统方面高洁净度、高稳定性、高效率传送、高复杂度、低振动以及全自动化系统对接的需求，OHT系统凭借其卓越的性能，正成为晶圆制造厂物流自动化方案的核心。

数据显示，在12英寸晶圆制造过程中，单片晶圆需在数百台设备间流转，经历上千道工序，单次生产周期中晶圆传输里程超20公里；整厂OHT轨道总长超50公里，每日需完成50万次以上运输任务，其复杂性堪比都市交通系统。 OHT系统已从辅助工具升级为晶圆厂的“神经网络”，任何一次宕机都可能导致整厂停产，造成巨大经济损失。

屠杰指出：为打破高端半导体制造装备长期依赖进口的局面，新施诺毅然肩负起OHT系统国产化的重任，目前已成功打造出高性能OHT解决方案，其OHT小车的技术规格已达到非常高的水准：

  ·速度与加速度：直线最高速度可达5.3m/s，转弯最大速度可达1.0m/s，加速度、减速度分别可达2m/s²、3m/s²；

  ·负载能力：标准负载能力为15kg（可定制最大负载50kg），可兼容标准的300mmFOUP、FOSB，200mmSMIF POD、CST，PLP600mm FOUP等载具；

  ·定位精度：重复定位精度可达±1mm，确保与工艺设备端口（Load Port）的精准对接；

  ·可靠性：平均无故障时间（MTBF）在2000小时以上，系统可用性（Uptime）高达99.999%；

  ·洁净度：可在Class10的洁净环境中运行。

在本次湾芯展现场，新施诺展示了AMHS天车系统的实际运行场景，吸引了众多专业观众驻足观摩。参观者可近距离观看OHT天车在轨道上的精准运行、晶圆载具的自动装卸等关键环节，直观感受智能物流装备的技术实力与创新成果。

OHT系统是一个复杂的软硬件集成系统，除了硬件系统，还有计算机集成制造系统（CIM）。新施诺在展位上也展示了OHT系统的软件控制界面，包括物料搬送控制系统MCS、3D数字孪生系统DTS等核心功能，为行业同仁提供了直观的国产化解决方案参考。