抛光液是一种颗粒分布匀散的胶体,可使硅片表面产生一层氧化膜,再由抛光液中磨粒将其去除,达到抛光目的。通常抛光液的流速、粘度、温度、成分、pH值等都会对去除效果有影响。
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抛光液是一种颗粒分布匀散的胶体,可使硅片表面产生一层氧化膜,再由抛光液中磨粒将其去除,达到抛光目的。通常抛光液的流速、粘度、温度、成分、pH值等都会对去除效果有影响。