WET-全自动RCA清洗设备（GMC-C300，GMC-E300，GMC-D300，GMC-F300）
应用领域：半导体行业，前道工艺制成（IC集成电路）、后道先进封 装，衬底材料（硅片、碳化硅、氮化镓等化合物），还适用于玻璃基板、陶瓷板等领域。
应用方式：
Cassette-type & Cassetteless-type
晶圆尺寸：
100mm-300mm
设备配置：
全面支持SECS/GEM通讯协议;
设备自动化操作，干进干出（Marangoni dry 或 spin dry;）
配备自动消防安全系统;
自动配液，补液，换酸;
温度，流量，浓度，压力，可控可调;
可选多loadport，根据产能配备;
全工艺段监控及传感器安全互锁;
全程在线技术支持。
主要品牌：
主要parts选用国外一线品牌（Rochling、KAIJO、IWAKI/Pillar、Entegris、CKD/SEBA、SIEMENS/OMRON）
