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MEMS硅晶振晶圆
赛微电子
MEMS芯片的工艺开发及晶圆制造
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近日，赛微电子控股子公司赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司为某客户制造的硅晶振通过了客户验证，赛莱克斯北京收到该客户发出的采购订单，启动首批MEMS硅晶振8英寸晶圆的小批量试生产。

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