产品&解决方案
融合工业互联网平台的智能生产管理系统，实现光伏制造全流程数据闭环控制。包含设备健康管理、工艺参数优化、物料追溯等核心模块。
提供从硅片处理到组件封装的完整产线装备集成，包含扩散炉、PECVD、丝网印刷等核心设备。适用于PERC/TOPCON/HJT等主流技术路线。
提供涵盖切割、剥离、修复等全制程的激光设备系统，适用于LCD/OLED面板的精细化制造环节。核心装备包括激光剥离设备、玻璃切割机、面板修复设备等。
基于CMP、湿法设备等核心装备组成的局部成套能力，提供从90nm到28nm工艺节点的关键制程装备及工艺支持服务。重点覆盖离子注入、化学机械抛光、湿法腐蚀清洗等制造环节。
用于TFT-LCD或AMOLED等平板显示面板的精细蚀刻工艺，实现高精度图形转移，提高分辨率与生产效率，支撑新型显示产业技术升级。
整线交钥匙解决方案，涵盖清洗、制绒、扩散、刻蚀、PECVD、丝网印刷、烧结和分选测试等全流程工艺，适用于高效晶体硅太阳能电池制造，提升产业规模化水平。
在晶圆表面沉积薄膜的设备，如氧化膜、氮化膜等多层介质膜，采用化学气相沉积技术，确保薄膜质量、均匀性和致密性，是集成电路制程的核心设备。
用于半导体制造中的掺杂工艺，能够对晶圆进行精确掺杂，实现高精度离子束控制，广泛应用于集成电路制造流程，提高器件性能和良率。
查看更多
员工数量
50-99人
公司简介
中电科电子装备集团有限公司是在中国电子科技集团公司2所、45所、48所基础上组建成立的二级成员单位，属中国电子科技集团公司独资公司，公司是我国以集成电路制造装备、新型平板显示装备、光伏新能源装备以及太阳能光伏产业为主的科研生产骨干单位，具备集成电路局部成套和系统集成能力以及光伏太阳能产业链整线交钥匙能力。拥有国家光伏装备工程技术研究中心、国防科技工业军用微组装技术研究应用中心、国防科技工业有源层优化生长技术研究应用中心等国家级研发基地。
经营范围
电子专用设备技术研究，半导体专用设备、半导体微细加工设备、半导体热工设备、电子元器件设备、光电器件设备、半导体窑炉研究开发；特种焊接和热工、微组装和半导体材料、计算机辅助设计制造集成、特种机箱机柜集成制造、表面防护工程、传感器技术研究；电子专用设备、自动立体货柜研制及相关技术咨询；光伏产品、太阳能硅片、太阳能电池片、太阳能组件的研发、生产、销售；光伏发电系统设计技术研究。进出口业务。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
主营业务
电科装备的主营业务是高端电子装备的研发与制造，覆盖集成电路制造装备、新型平板显示装备和光伏新能源装备，并具备太阳能光伏产业链的整线集成能力。
中电科电子装备集团有限公司
有限责任公司(法人独资)
￥24.5亿
2013-11-26
王平
010-67850599
cetczb@163.com
北京市北京经济技术开发区荣华中路19号院1号楼B座20层2001室