长江存储3D NAND闪存制程优化
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产品详情
在长江存储的3D NAND闪存生产线中，科磊半导体部署了Puma光学检测工具和光谱椭偏仪，进行缺陷检查和膜厚计量。具体服务包括为每一个生产步骤提供实时数据反馈，通过KLA的良率管理系统优化制程参数，使长江存储在量产初期即实现缺陷控制能力的提升，从而提高产品可靠性并降低报废率。该信息来源于行业报道和KLA在中国的业务案例分享。
员工数量
100-499人
公司简介
科磊 （KLA Corporation，原称KLA-Tencor Corporation）是一家美国公司，提供半导体制造相关的制程控管、良率管理服务。该公司是1997年由KLA和Tencor两家公司合并形成的，前者成立于1975年，后者成立于1977年。合并后称为KLA-Tencor Corporation，2019年1月10日宣布改名为KLA Corporation。改名于2019年7月正式生效。
经营范围
半导体及微电子产品生产设备的研发，提供相关工程程序控制和生产管理解决方案，软件开发，提供相关技术转让和技术咨询服务，机械设备及零部件的进出口。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
主营业务
半导体制造过程控制与良率管理解决方案
科磊半导体设备技术（上海）有限公司
有限责任公司(外国法人独资)
$400万
2004-06-02
VIRENDRA ARVIND KIRLOSKAR
021-38619788
jacy.gao@kla.com
中国（上海）自由贸易试验区祖冲之路887弄79、80号，5号楼一楼