缺陷检测系统
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产品详情
采用光学或电子束技术（如Surfscan系列），检测半导体晶圆表面的缺陷，包括微粒污染、图案异常和粒子缺陷。应用于半导体制造的光刻和蚀刻等工艺步骤，通过实时扫描和分析，识别潜在问题，确保晶圆质量。
员工数量
100-499人
公司简介
科磊 （KLA Corporation，原称KLA-Tencor Corporation）是一家美国公司，提供半导体制造相关的制程控管、良率管理服务。该公司是1997年由KLA和Tencor两家公司合并形成的，前者成立于1975年，后者成立于1977年。合并后称为KLA-Tencor Corporation，2019年1月10日宣布改名为KLA Corporation。改名于2019年7月正式生效。
经营范围
半导体及微电子产品生产设备的研发，提供相关工程程序控制和生产管理解决方案，软件开发，提供相关技术转让和技术咨询服务，机械设备及零部件的进出口。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
主营业务
半导体制造过程控制与良率管理解决方案
科磊半导体设备技术（上海）有限公司
有限责任公司(外国法人独资)
$400万
2004-06-02
VIRENDRA ARVIND KIRLOSKAR
021-38619788
jacy.gao@kla.com
中国（上海）自由贸易试验区祖冲之路887弄79、80号，5号楼一楼