电子级氟硅化合物合成与纯化
掌握四氟化硅（SiF4）、六氟乙烷（C2F6）、八氟环丁烷（c-C4F8）等含氟电子气体的规模化合成与提纯技术。核心创新在于通过催化氟化反应路径优化减少副产物，结合低温精馏-吸附耦合工艺（采用分子筛与金属氧化物复合吸附剂）去除HF、CO2等杂质，实现产品纯度≥99.999%（5N）且关键杂质如HF<0.1ppm，满足先进制程对蚀刻气体的要求。
特种电子气体纯化与混配技术
针对集成电路制造所需的特种气体（如磷烷、砷烷、硼烷、氨气等），开发多级纯化系统（包含低温吸附、金属吸气剂、催化净化、精密过滤等单元），实现电子级气体中颗粒物<0.1μm、金属杂质<10ppt的纯化能力。在混合气体制备方面，运用质量流量计精确控制与在线分析技术，确保如SiH4/PH3、GeH4/B2H6等混合气体的配比精度达±1%，并解决高活性气体相容性与长期稳定性问题。
高纯度金属有机化合物（MO源）制备技术
专注于开发用于MOCVD（金属有机化学气相沉积）工艺的关键前驱体材料，如三甲基镓（TMGa）、三甲基铟（TMIn）、三乙基镓（TEGa）等高纯金属有机化合物。核心技术在于合成路径优化、超纯精馏分离（如高效精密分馏塔设计）与痕量杂质（氧、水、金属粒子等）深度控制技术，通过分子筛吸附、化学反应纯化及亚微米级过滤实现金属杂质<1ppb、非金属杂质<10ppb的9N级超高纯度。
融资次数
1
员工数量
100-499人
经营范围
一般项目：电子专用材料制造；电子专用材料销售；电子专用材料研发；化工产品生产（不含许可类化工产品）；化工产品销售（不含许可类化工产品）；合成材料制造（不含危险化学品）；专用化学产品制造（不含危险化学品）；专用化学产品销售（不含危险化学品）；橡胶制品销售；有色金属合金制造；通用设备修理；机械设备销售；机械零件、零部件销售；非居住房地产租赁；机械设备租赁；国内贸易代理；创业空间服务（除许可业务外，可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目）许可项目：危险化学品生产；危险化学品经营；移动式压力容器/气瓶充装；特种设备检验检测服务；货物进出口（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
主营业务
大规模生产高纯金属有机化合物和高纯电子气体，为半导体、LED及其他电子材料产业提供关键基础材料，致力于实现国产化替代并拓展国际市场。
全椒南大光电材料有限公司
其他有限责任公司
￥1.1034亿
2013-11-26
王陆平
0550-5293666
zhangp@nata.com
安徽省滁州市全椒县十字镇十谭产业园新城大道686-688号