分子束源炉解决方案
该解决方案提供分子束源炉系统，用于MBE（分子束外延）技术中的材料蒸发和薄膜生长。自主研发的温控系统确保精确的材料沉积速率和均匀性，提升薄膜质量和器件性能。
蝶阀气体控制解决方案
该解决方案提供用于半导体设备的专用蝶阀系统，用于真空环境中气体流动的精确控制和密封。设计针对高纯度气体应用，优化气流均匀性，防止泄漏，确保工艺稳定性。
薄膜真空计解决方案
该解决方案提供高精度薄膜真空测量设备，用于半导体制造环境中真空度和薄膜厚度的实时监控。自主研发的传感器技术确保高精度和可靠性，适合复杂工艺条件下的数据采集和控制。
远程等离子源解决方案
该解决方案提供远程等离子发生系统，用于半导体工艺中的等离子体清洁和沉积过程，实现远程控制以减少设备内部污染。技术基于自主研发，确保等离子体均匀性和活性，提高工艺的可重复性和良率。
高性能射频电源解决方案
该解决方案提供用于半导体设备的专用大功率射频电源系统，创新设计能显著改善电源性能和稳定性，提升等离子体控制精度，适用于先进集成电路制造装备。核心技术自主研发，具有高可靠性，能满足PECVD（等离子体增强化学气相沉积）和蚀刻工艺的需求。
融资次数
2
员工数量
小于50人
专利数量
23
经营范围
一般项目：工程和技术研究和试验发展；工业设计服务；机械设备销售；电子产品销售；电子专用设备销售；半导体器件专用设备销售；集成电路芯片及产品销售；国内贸易代理；货物进出口；技术进出口；集成电路芯片及产品制造【分支机构经营】；电子专用设备制造【分支机构经营】；半导体器件专用设备制造【分支机构经营】；泵及真空设备制造【分支机构经营】；通用设备修理【分支机构经营】。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
半导体装备及关键零部件的研发、制造与销售。
佛仪科技（佛山）有限公司
有限责任公司(外商投资企业与内资合资)
￥1,994万
2019-02-27
XU PING
18664217896
hulang@jihualab.com
佛山市南海区桂城街道环岛南路28号A5栋602、604、606