产品&解决方案
该解决方案提供分子束源炉系统，用于MBE（分子束外延）技术中的材料蒸发和薄膜生长。自主研发的温控系统确保精确的材料沉积速率和均匀性，提升薄膜质量和器件性能。
该解决方案提供用于半导体设备的专用蝶阀系统，用于真空环境中气体流动的精确控制和密封。设计针对高纯度气体应用，优化气流均匀性，防止泄漏，确保工艺稳定性。
该解决方案提供高精度薄膜真空测量设备，用于半导体制造环境中真空度和薄膜厚度的实时监控。自主研发的传感器技术确保高精度和可靠性，适合复杂工艺条件下的数据采集和控制。
该解决方案提供远程等离子发生系统，用于半导体工艺中的等离子体清洁和沉积过程，实现远程控制以减少设备内部污染。技术基于自主研发，确保等离子体均匀性和活性，提高工艺的可重复性和良率。
该解决方案提供用于半导体设备的专用大功率射频电源系统，创新设计能显著改善电源性能和稳定性，提升等离子体控制精度，适用于先进集成电路制造装备。核心技术自主研发，具有高可靠性，能满足PECVD（等离子体增强化学气相沉积）和蚀刻工艺的需求。
佛仪科技的蝶阀产品，专为真空系统设计，用于半导体装备中控制气体流动和压力调节，是关键的流体控制组件。
佛仪科技生产的薄膜真空计产品，用于半导体设备中精确测量真空度，确保制造环境的稳定性和准确性。
佛仪科技开发的远程等离子源产品，应用于半导体制造过程，用于产生和控制等离子体，以支持薄膜沉积和蚀刻等工艺。
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融资次数
2
员工数量
小于50人
专利数量
23
公司简介
佛仪科技(佛山)有限公司成立于2019年2月，主要从事半导体装备及关键零部件研发制造和销售。公司创始团队成员来自新加坡国，曾在LamResearch、AppliedMaterial、MKS及Seagate Technology等国际知名半导体制造商担任高级研发负责人，具有近30多年的半导体装备及关键零部件研制及企业管理经验。公司业务领域聚焦于半导体装备及关键零部件研发、制造，新技术均来源于自主研发。包括集成电路装备专用大功率射频电源分子束源炉远程等离子源、薄膜真空计、蝶阀等，在国内属于领先可梯队，瞄准半导体先进制造，产业化后对于国内半导体产业健康、持续发展具有重要意义。其中，公司掌握的射频电源技术，是新一代电源的创新设计，能显著改善电源性能，提升相关装备的工艺水平，在国内处于领先水平，并且比肩国际先进水平。
经营范围
一般项目：工程和技术研究和试验发展；工业设计服务；机械设备销售；电子产品销售；电子专用设备销售；半导体器件专用设备销售；集成电路芯片及产品销售；国内贸易代理；货物进出口；技术进出口；集成电路芯片及产品制造【分支机构经营】；电子专用设备制造【分支机构经营】；半导体器件专用设备制造【分支机构经营】；泵及真空设备制造【分支机构经营】；通用设备修理【分支机构经营】。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
半导体装备及关键零部件的研发、制造与销售。
佛仪科技（佛山）有限公司
有限责任公司(外商投资企业与内资合资)
￥1,994万
2019-02-27
XU PING
18664217896
hulang@jihualab.com
佛山市南海区桂城街道环岛南路28号A5栋602、604、606