产品&解决方案
针对光伏行业电镀铜工艺，使用光伏电镀铜曝光机提供定制光刻服务。该方案专为太阳能电池设计，可实现高精度铜互连图案制作，提升电池效率和产量。
该方案基于半自动双面套刻光刻机，支持晶圆或基材的双面同时曝光和图案化处理。它简化了双面套刻流程，适用于复杂图案的制造。
利用全自动接近式光刻机，实现对晶圆的高精度、高效率光刻加工。该方案支持精密套刻和自动对位功能，减少人为操作误差，提升生产自动化水平。
该方案基于UVLED平行光源模组，为光刻工艺提供高均匀性、稳定的紫外线照射，适用于微电子和光伏制造中的曝光步骤。该技术采用创新的光源设计，可减少能量损耗并提升图像质量。
光伏电镀铜曝光机专为太阳能光伏产业设计，用于电镀铜工艺中的图案化曝光步骤。它针对铜布线需求优化，提供精确的曝光模式和控制参数，支持高效电镀铜线的形成。设备特点包括快速曝光速度、耐腐蚀材料和可调节曝光面积，提升光伏电池的转换效率和可靠性，广泛应用于硅片太阳能电池的电镀制造流程。
半自动双面套刻光刻机适用于太阳能电池和电子元件的双面加工，支持套刻对齐功能以实现前后面对准。设备操作部分自动化，结合手动调整，适用于中小批量生产场景。核心优势包括高精度套刻能力、减少材料浪费，以及适应不同厚度材料的灵活性。它常用于光伏电池、印刷电路板(PCB)等领域的双面图案化曝光。
全自动接近式光刻机是一种高度自动化的曝光设备，采用接近式或接触式技术，实现高精度对准和曝光。它专为晶圆加工厂设计，支持全程自动化操作，包括自动上料、对位、曝光和下料，提升生产效率和良率。设备特点包括精密的运动控制、实时监测系统和用户友好界面，适用于高密度半导体芯片和微机电系统(MEMS)的生产。
UVLED平行光源模组基于紫外LED技术，提供高均匀性、高稳定性的平行光照，用于光刻设备的曝光系统。它能优化曝光过程中的光强分布，减少阴影和失真，支持高精度光刻应用，如半导体晶圆加工和微电子制造。关键特性包括长寿命LED光源、可调节光强以及低热辐射设计，适用于各种量产环境。
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融资次数
1
员工数量
小于50人
专利数量
8
公司简介
苏州中特微电子科技有限公司是一家致力于提供智能高速光刻设备的提供商。专注于为晶圆加工厂和太阳能电池加工厂提供全自动紫外光刻设备和技术解决方案，已经形成UVLED平行光源模组、全自动接近式光刻机、半自动双面套刻光刻机和光伏电镀铜曝光机等系列产品。
经营范围
一般项目：工程和技术研究和试验发展；电子专用设备制造；标准化服务；软件开发；电工仪器仪表制造；电工仪器仪表销售；仪器仪表销售；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；电子专用设备销售；电子测量仪器制造；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；电子测量仪器销售；货物进出口；技术进出口（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
公司主营业务是研发、制造和销售智能高速光刻设备及其相关解决方案，主要服务于半导体晶圆加工和太阳能电池制造行业，产品涵盖自动化光刻机、曝光机等核心设备。
苏州中特微电子科技有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥542万
2021-09-01
林世超
0577-65029888
苏州市吴江区江陵街道交通路1188号