无油真空获得及系统集成
无油真空获得系统包括罗茨泵、干式螺杆泵和涡旋泵等，设计用于提供无油污染的高真空或超高真空环境。系统集成方案涵盖真空泵组、阀门控制器和实时监控软件，可实现复杂真空系统的定制化设计。设备适用于实验室、医疗和半导体行业，例如无油泵系统能有效消除油蒸气污染，提升产品良率，结合自动化控制实现节能和远程运维。
大科学工程装备
大科学工程装备包括粒子加速器真空室、同步辐射光束线元件和控制系统等，为大科学装置如正负电子对撞机、重离子加速器和同步辐射光源提供关键组件。这些设备涉及超高真空（10^{-8} Pa以上）技术，采用不锈钢真空管道、离子泵和精密传感器，确保束流稳定性和高真空度。设备支持大型实验设施的安装、调试和维护，适用于高能物理、材料科学和生物医学研究。
集成电路装备
集成电路装备涉及光刻、刻蚀和薄膜沉积系统，特别是真空相关的超高真空反应器。这些设备用于微电子制造中的晶圆处理，如原子层沉积（ALD）系统可实现纳米级薄膜控制；高精度刻蚀机则能在真空环境下移除材料层。设备支持关键工艺如金属互连和绝缘层沉积，适用于12英寸晶圆产线，具备高可靠性和低颗粒污染优势，服务于芯片和小批量高端器件生产。
太阳能光伏设备
太阳能光伏设备主要包括薄膜沉积系统、晶体硅处理设备和太阳能电池生产线等。例如，等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统用于在玻璃或硅基板上沉积硅薄膜层；溅射系统则适用于透明导电膜（如ITO）的制备。这些设备采用洁净真空技术，确保高转换效率和低污染，支持多晶硅片清洗、刻蚀和封装过程，用于制造高效太阳能电池模块。
单晶炉
单晶炉是用于生长单晶材料的设备，常见于单晶硅、蓝宝石和锗等半导体晶体生产。这些设备采用直拉法（Czochralski）或坩埚下降法技术，在高真空环境中通过精密温度梯度控制晶体生长方向，确保单晶结构的完整性。设备包括高精度加热系统、旋转机构和实时监测模块，能产出直径超过200mm的高质量晶棒，满足太阳能电池和微电子产业的材料需求。
真空冶金设备
真空冶金设备涵盖真空感应熔炼炉、真空电弧熔炼炉和电子束熔炼炉等，用于在真空或惰性气氛下处理金属材料，防止氧化和杂质混入。这些设备能够生产高纯度金属、合金和稀土材料，支持高温（最高可达2000°C以上）熔炼、精炼和浇铸过程。例如，真空感应炉可用于精确控制冶金反应，生产航空航天级钛合金和高温超导材料，具有高效能、低能耗的特点。
纳米材料制备设备
纳米材料制备设备包括气体冷凝装置、溶胶-凝胶系统和球磨机等，旨在合成纳米颗粒、纳米线或纳米结构材料。这些设备利用洁净真空环境控制颗粒尺寸和形态，避免氧化，适用于研发纳米催化剂、传感材料和能源存储器件。典型设备如真空等离子体系统，可在低压下生成均匀纳米颗粒，支持纳米材料的批量化生产和原位分析，广泛应用于科研实验室和工业生产领域。
薄膜材料制备设备
薄膜材料制备设备主要包括分子束外延（MBE）系统、物理气相沉积（PVD）设备和化学气相沉积（CVD）装置等，用于在基板表面沉积纳米级到微米级的薄膜。这些设备采用高真空和超高真空技术，确保沉积过程无污染、高精度，适用于半导体材料、光学镀膜和功能涂层等应用。例如，MBE设备可在超高真空环境下精确控制原子束流，生长高质量晶体薄膜，广泛应用于量子点研究和光电材料开发。
融资次数
2
员工数量
100-499人
专利数量
238
经营范围
真空设备、薄膜工艺设备、材料生长设备、太阳能电池覆膜设备、洁净真空获得设备、表面分析仪器、电子仪器、离子泵、真空零部件的研发、生产、销售、维修及相关的技术开发、技术转让、技术咨询，自营和代理各类商品和技术的进出口，但国家限定公司经营或禁止进出口的商品和技术除外，供暖，房屋租赁。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动。）
主营业务
基于高真空、超高真空和洁净真空技术的研发、生产和销售，提供多样化的真空设备和系统解决方案，服务于科研机构和工业领域。
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
股份有限公司(非上市、国有控股)
2001-04-18
郭东民
sales@sky.ac.cn
沈阳市浑南新区新源街1号