无油真空获得技术
无油真空获得技术致力于发展不依赖油类流体的真空泵系统，避免了油污染问题。沈阳科仪的创新点包括开发高效干式真空泵和智能控制系统，结合模块化设计实现高可靠性和低维护。该技术已获得多项专利，并通过了ISO9001质量体系认证，在太阳能光伏和环保领域有广泛应用。
洁净真空技术
洁净真空技术专注于创建粒子污染物和杂质极少的真空环境，关键创新在于先进的过滤系统和洁净室集成方法。沈阳科仪通过设计低放气材料和高效率流路清洁工艺，减少了颗粒残留，提升了系统整体洁净度。这一技术在半导体制造和集成电路装备领域应用广泛，解决了高纯度材料制备的挑战。
超高真空技术
超高真空技术致力于实现压力低于10^{-6} Pa的极端真空环境，适用于高精度实验和高能量物理研究。沈阳科仪的创新点包括开发了具有自主知识产权的无油涡轮分子泵和特殊表面处理技术，显著降低气体吸附和放气现象，提升了真空室的洁净度。这些技术曾在合肥同步辐射和北京正负电子对撞机等国家重大工程中应用，打破了国际技术壁垒。
高真空技术
高真空技术涉及创建和维护压力范围在10^{-3} Pa至10^{-6} Pa的真空环境，主要用于减少气体干扰和污染。沈阳科仪的创新点在于发展了高效密封结构和可靠无油泵设计，结合先进材料选择，突破了国外的技术封锁，实现了长寿命和低能耗。这些创新已在多个国家科学工程中验证，提高了设备的整体性能和可靠性。
融资次数
2
员工数量
100-499人
专利数量
238
经营范围
真空设备、薄膜工艺设备、材料生长设备、太阳能电池覆膜设备、洁净真空获得设备、表面分析仪器、电子仪器、离子泵、真空零部件的研发、生产、销售、维修及相关的技术开发、技术转让、技术咨询，自营和代理各类商品和技术的进出口，但国家限定公司经营或禁止进出口的商品和技术除外，供暖，房屋租赁。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动。）
主营业务
基于高真空、超高真空和洁净真空技术的研发、生产和销售，提供多样化的真空设备和系统解决方案，服务于科研机构和工业领域。
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
股份有限公司(非上市、国有控股)
2001-04-18
郭东民
sales@sky.ac.cn
沈阳市浑南新区新源街1号