蚀刻清洗用电子气体集成生产技术
该技术整合氯气、氯化氢和氟化氢等多种气体的纯化与配气系统，创新点在于多组分气体协同控制平台，实现杂质去除率和气体一致性优化，支持高精度蚀刻清洗应用。
电子级高纯氢氟酸生产技术
该技术通过多级纯化工艺（包括蒸馏、过滤和离子交换）实现ppb至ppt级别的超高纯度控制，创新点包括专有的实时杂质在线监测系统和闭环控制体系，确保能稳定供应1x纳米制程所需的电子级氢氟酸。
A股代码
688549.SH
员工数量
50-99人
专利数量
2
经营范围
电子化学材料及配套产品、化工产品及原料、电子产品及电子材料的技术开发、技术转让；新材料技术推广服务；电子化学材料及配套产品、化工产品及原料的销售（不含危险化学品及易制毒化学品）；货物及技术进出口（法律法规限制的除外，应当取得许可证的凭许可证经营）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
主营业务
半导体用高纯度电子湿化学品、电子气体和前驱体的研发、生产和销售。
中巨芯科技股份有限公司
其他股份有限公司(上市)
￥14.7728亿
2017-12-25
童继红
0570-3614208
grandit@grandit.com.cn
浙江省衢州市东南时代城3幢857室