中微公司 - 公司详情 - core - innoHere英诺嘿呀

中微公司的化学薄膜设备基于化学气相沉积（CVD）技术，通过创新性的预热区设计和精确的气体分布系统，实现薄膜厚度的纳米级控制。创新点包括多区温度控制机制和原位监控技术，确保沉积均匀性和膜层质量，支持高k介电层和金属互连层的沉积。

中微公司的等离子体刻蚀设备采用创新的电感耦合等离子体（ICP）源技术和高深宽比刻蚀工艺，实现纳米级精确控制。创新点包括独特的反应腔室设计、实时等离子体诊断系统和自适应过程控制算法，确保刻蚀均匀性和选择性，适用于复杂微观结构的制造，支持5纳米及以下先进节点。

A股代码

688012.SH

员工数量

100-499人

专利数量

1357

经营范围

研发、组装集成电路设备、泛半导体设备和其他微观加工设备及环保设备，包括配套设备和零配件，销售自产产品。提供技术咨询、技术服务。【不涉及国营贸易管理商品，涉及配额、许可证管理商品的，按照国家有关规定办理申请；依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】。

主营业务

中微公司的主营业务是研发、制造和销售等离子体刻蚀设备与化学薄膜设备，并为全球集成电路及泛半导体行业提供相关的高质量服务，专注于高端微观加工设备的供应和技术支持。

公司全称

中微半导体设备（上海）股份有限公司

公司类型

股份有限公司(中外合资、上市)

注册资本

￥6.1928亿

成立时间

2004-05-31

法定代表人

尹志尧（GERALD ZHEYAO YIN）

电话

021-61001199

邮箱

ir@amecnsh.com

网址

地址

上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号