中芯国际先进逻辑制程设备支持案例
芯源微为中芯国际（SMIC）提供涂胶机、显影机等湿法工艺设备，应用于其在上海和北京12英寸晶圆厂的逻辑芯片生产线，包括FinFET先进制程。具体服务包括设备定制以适应特定工艺参数（如厚度控制、均匀性要求）、集成到生产线中，并负责安装、测试与优化。芯源微的方案帮助中芯国际在光刻前后步骤中实现更高精度，提升了芯片制造良率，支持其技术研发与产能扩展。此合作在2020年至2021年的行业新闻中被证实。
长江存储 3D NAND生产线涂胶显影设备合作
芯源微向长江存储（YMTC）提供多套定制化涂胶机和显影机，用于其128层3D NAND闪存的生产线。这些设备被部署在光刻工艺的核心环节，负责在晶圆表面均匀涂覆光刻胶并进行高精度显影。服务过程包括前期需求分析、设备设计定制、现场安装调试，以及持续的技术支持和维护。通过这次合作，芯源微帮助长江存储提高了生产效率与良率，支持了国产3D NAND技术的规模化量产，此案例在2021年的半导体行业报道中广泛被提及。
细分行业
A股代码
688037.SH
员工数量
500-999人
专利数量
547
经营范围
集成电路的生产设备和测试设备及其他电子设备的开发研制、生产与销售，承接相关设备安装工程、技术服务；自营和代理各类商品和技术的进出口业务（国家限定公司经营或禁止进出口的业务除外）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动。）
主营业务
半导体生产设备的研发、生产、销售与相关技术服务，专注于涂胶显影、湿法刻蚀和清洗等前道制程设备领域，为客户提供定制化工艺解决方案。
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
其他股份有限公司(上市)
￥9,262万
2002-12-17
宗润福
024-89628888
wanghao@kingsemi.com
辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号