湿电子化学品
包括高纯度酸类(如氢氟酸用于晶圆清洗和蚀刻)、碱类(如氢氧化铵用于表面处理)、溶剂(如异丙醇用于漂洗)以及专用清洗液。这些化学品应用于晶圆制造中的清洗、蚀刻和去光刻胶步骤,需符合SEMI标准以确保超低金属离子含量(如ppb级别),满足半导体良率要求。
光刻胶及辅材
光刻胶是用于光刻工艺的光致抗蚀剂,通过紫外线或电子束曝光后在晶圆表面形成微细图案,支持先进制程节点(如7nm以下)。辅材包括显影液、抗反射涂层(BARC)和边缘保护剂,用于增强分辨率、减少光散射和提高良率。产品涵盖G-line、I-line和KrF/ArF光刻胶类型。
电子特种气体
高纯度气体用于半导体晶圆加工的蚀刻、掺杂和沉积工艺。典型产品包括六氟化氙用于深紫外光刻的蚀刻剂,三氟化氮用于化学气相沉积过程的清洁剂,以及氨气用于氮化物层的形成。纯度要求极高(通常≥99.9999%),以避免污染并提升芯片性能。
半导体前驱体材料
这些材料应用于半导体制造中的薄膜沉积工艺,如化学气相沉积(CVD)和原子层沉积(ALD),主要产品包括高纯度有机金属化合物,例如正硅酸四乙酯(TEOS)用于二氧化硅膜形成,以及三甲基铝(TMA)用于氧化铝膜。这些材料用于构建电介质层、导体层等关键结构,需确保高纯度(如9N级别)以减少缺陷。