半导体设备智能监控平台
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产品详情
基于工业物联网的装备健康管理系统，通过多传感器数据融合（温度、振动、真空度等）实现设备预测性维护，集成SECS/GEM协议支持晶圆厂自动化集成，提供工艺稳定性分析和良率提升方案。
融资次数
1
公司简介
一塔半导体（安徽）有限公司专注于宽禁带半导体先进制程设备的研发和生产，是一家集研发、生产、销售于一体的综合性科技企业，一塔半导体（ETA-Semitech）拥有两大产研基地，分别位于合肥经济技术开发区和德清浙工大科技园（瑶光半导体（浙江）有限公司）。
主营业务
专注于研发、生产和销售宽禁带半导体先进制程设备的综合性科技企业
一塔半导体（安徽）有限公司
其他有限责任公司
￥613万
2024-02-05
王涛
安徽省合肥市经济技术开发区云二路176号珠江路科技园B栋一层南侧103室