华虹集团单片清洗项目
芯源微为华虹半导体有限公司提供单片清洗机设备，用于其集成电路制造中的表面清洗工艺。设备采用先进的喷淋技术和化学配方，减少晶圆表面颗粒污染，支持300mm晶圆和28nm以上制程。芯源微通过工程师现场支持和持续维护，优化清洗参数以降低缺陷率，确保设备稳定运行和产能提升，增强了客户在生产高可靠性芯片中的竞争力。
长江存储涂胶显影项目
芯源微向长江存储技术有限公司供应自主研发的前道涂胶显影机，用于其3D NAND闪存芯片生产线。该设备基于国产化技术，支持300mm晶圆工艺，提供高精度涂布和显影能力，满足客户对28nm制程的要求。芯源微通过现场调试、定制化优化和工艺适配，解决了涂胶均匀性和缺陷控制问题，提升了生产线效率和良品率，助力长江存储实现产能目标，推动了国产半导体设备在高端制造领域的应用。
员工数量
50-99人
专利数量
29
经营范围
一般项目：企业管理；电子专用设备制造；电子专用设备销售；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；电子专用材料研发；机械零件、零部件加工；机械零件、零部件销售；工程管理服务；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；信息技术咨询服务；进出口代理；货物进出口；技术进出口；非居住房地产租赁。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
高端半导体装备制造，包括涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机和单片清洗机等系列产品，提供从研发到量产的定制化解决方案，覆盖集成电路前道制程和先进封装应用。
上海芯源微企业发展有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股的法人独资)
2021-02-23
崔晓微
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中国（上海）自由贸易试验区临港新片区飞渡路1388号