磁控溅射镀膜系统
使用磁控溅射技术沉积薄膜，创新点在于射频电源和靶材优化，实现低温、低损伤镀膜，并结合气体比例控制，提高膜层导电性和耐腐蚀性能。
电子束蒸镀系统
系统通过电子束能量蒸镀金属或介电材料形成薄膜，创新点在于多源蒸发和动态角沉积设计，提升薄膜附着力、纯度和均匀性，满足高精度电极制造需求。
快速退火系统
系统利用瞬间高温脉冲（毫秒级）实现快速加热和冷却，创新点在于集成光热处理和温度反馈算法，确保晶格恢复和激活掺杂，减少热预算并提高材料性能。
高温氧化系统
此系统通过高温热氧化过程（约1100°C）形成氧化物层，创新点在于采用气氛闭环控制和快速升降温机制，优化氧化膜质量和界面稳定性，用于提升器件绝缘性能。
高温离子注入系统
系统在高温（高达1000°C）下进行离子注入，采用光束聚焦和精确剂量控制技术，创新点在于结合了动态能量调制，减少晶格损伤并提升注入效率，特别适应宽禁带半导体需求。
SiC高温外延生长系统
此系统使用高温化学气相沉积法，在SiC基底上外延生长高质量薄膜，创新点在于整合原位监测技术和多区温度调控，确保外延层厚度和掺杂精密度，提高器件可靠性。
SiC单晶生长系统
该系统基于高温物理气相传输法或化学气相沉积技术，在超过2000°C的环境下生长碳化硅单晶，创新点在于采用智能温度梯度控制和高真空优化设计，减少晶体缺陷并提升直径均匀性，适用于国产化生产线。
员工数量
小于50人
专利数量
43
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；机械设备研发；工程和技术研究和试验发展；集成电路销售；集成电路芯片及产品销售；机械设备销售；半导体器件专用设备销售；半导体器件专用设备制造；电力电子元器件销售；电子专用材料销售；电子专用材料研发；电子专用设备销售；电子专用设备制造；光伏设备及元器件销售；半导体照明器件销售；半导体分立器件销售；技术进出口；进出口代理；货物进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
半导体装备的研发、生产、销售和服务，专注于宽禁带半导体和新能源领域，开发包括SiC单晶生长系统、SiC高温外延生长系统、高温离子注入系统等关键设备，旨在推动产业自主可控发展
季华恒一（佛山）半导体科技有限公司
其他有限责任公司
2021-06-22
程远贵
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佛山市南海区桂城街道港口路23号20座102房之一（住所申报）