OHCV洁净室自动化搬运解决方案
该解决方案采用Overhead Cleanroom Vehicle(OHCV)系统,在洁净室环境中实现晶圆或其他敏感物料的自动运输,避免地面接触污染。配备无尘导航和实时跟踪功能。
STK/NTB高密度存储与缓冲解决方案
该系统结合Storage Tower Kit(STK)和Narrow Tray Buffer(NTB)技术,提供晶圆盒的高密度自动化存储和检索,优化工厂空间利用。通过智能管理系统实现库存自动调度和缓存管理。
EFEM晶圆处理前端解决方案
该解决方案利用Equipment Front End Module(EFEM)设备,自动将晶圆从存储容器(如FOUPs)加载到处理设备(如蚀刻机或沉积设备),集成晶圆机械手实现精确操作。支持快速换装和实时监控,提高设备利用率。
AMHS晶圆自动化传输解决方案
该系统基于Overhead Hoist Transport(OHT)技术,自动化处理和传送晶圆盒(如FOUPs),在半导体洁净室中实现晶圆的高效移动和定位。结合实时的控制系统和路径优化算法,减少物流中的等待时间。
融资次数
1
员工数量
小于50人
专利数量
14
经营范围
一般项目:机械设备研发;物料搬运装备制造;物料搬运装备销售;智能仓储装备销售;智能物料搬运装备销售;物联网技术研发;物联网技术服务;电子专用设备制造;半导体器件专用设备制造;智能机器人的研发;智能机器人销售;软件开发;电机及其控制系统研发;人工智能基础软件开发;人工智能应用软件开发;人工智能理论与算法软件开发;网络与信息安全软件开发;软件销售;计算机系统服务;信息技术咨询服务;网络技术服务;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;货物进出口;技术进出口(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
主营业务
提供半导体行业的AMHS自动化物料搬运解决方案,涵盖设备研发、系统集成和服务支持,以高效率、高密度、高柔性、快速交付和低成本为核心优势。
江苏睿新库智能科技有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
¥1,050万
2021-07-19
赵建勇
0512-57579351
yuanxioayan@ruixinku.com
昆山开发区杨树路553号1号厂房1楼