晶圆机械手
真空吸附式机械臂,具备亚微米级重复定位精度,支持300mm/450mm晶圆的双臂协同操作
设备前端模块(EFEM)
整合预对准器、晶圆机械手和微环境控制单元,实现晶圆从载具到工艺设备的无缝传递
智能天车穿梭车(OHCV)
多向机动运输车辆,支持垂直升降和水平转向,适用于复杂厂房布局的晶圆物流调度
悬挂式天车系统(OHT)
高架轨道传输系统,配备RFID识别装置和防撞传感器,可实时调配晶圆盒在无尘室顶部的运输路径
自动存储货架(STK)
智能立体仓库系统,通过机械臂自动存取晶圆载具,支持跨层调度和实时库存管理
纳米晶圆传送盒(NTB)
用于高洁净环境的密封式晶圆存储运输容器,可维持超低氧浓度环境防止晶圆氧化
融资次数
1
员工数量
小于50人
专利数量
14
经营范围
一般项目:机械设备研发;物料搬运装备制造;物料搬运装备销售;智能仓储装备销售;智能物料搬运装备销售;物联网技术研发;物联网技术服务;电子专用设备制造;半导体器件专用设备制造;智能机器人的研发;智能机器人销售;软件开发;电机及其控制系统研发;人工智能基础软件开发;人工智能应用软件开发;人工智能理论与算法软件开发;网络与信息安全软件开发;软件销售;计算机系统服务;信息技术咨询服务;网络技术服务;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;货物进出口;技术进出口(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
主营业务
提供半导体行业的AMHS自动化物料搬运解决方案,涵盖设备研发、系统集成和服务支持,以高效率、高密度、高柔性、快速交付和低成本为核心优势。
江苏睿新库智能科技有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
¥1,050万
2021-07-19
赵建勇
0512-57579351
yuanxioayan@ruixinku.com
昆山开发区杨树路553号1号厂房1楼