公司简介
我公司的极紫外光源主要由预脉冲电源，放电室，主脉冲电源、计算机控制系统和LPP控制器系统还有真空控制系统组成。其中电源系统和放电系统由我公司设计然后由有中国物理所，沈阳真空设备厂承建，计算机控制系统和LPP控制器系统由我公司设计生产。
极紫外光刻技术(EUVL)利用波长为13.5nm的极紫外(EUV)光源，可以轻松突破30nm技术节点而实现大规模工业生产。毛细管放电直接将电能转换成等离子体的极紫外辐射能，具有较高的能量转换效率。毛细管放电三束等离子体极紫外耦合光源利用激光等离子体(LPP)的热膨胀力与三束等离子体所受的洛仑兹力相互作用,耦合出较大面积的极紫外辐射区，从而在满足用光要求的前提下大幅度地降低毛细管放电的重复有利于光刻生产。
员工数量
-
专利数量
2
经营范围
一般项目：半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；半导体分立器件制造；半导体分立器件销售；光电子器件制造；光电子器件销售；电子元器件制造；电子元器件批发；电子专用材料制造；电子专用材料销售；电子专用材料研发；集成电路芯片及产品制造；集成电路芯片及产品销售；货物进出口；技术进出口；进出口代理（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
极紫外光刻光源制造
苏州极紫外半导体有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
2022-07-13
赵军滨
3084805668@qq.com
江苏省苏州市张家港市塘桥镇滩里村1幢