毛细管放电三束等离子体极紫外耦合光源
该技术基于毛细管放电原理，将电能直接转换为等离子体的极紫外辐射能（波长13.5nm）。创新点在于结合激光等离子体（LPP）的热膨胀力与三束等离子体所受的洛仑兹力，通过相互作用耦合出较大面积的极紫外辐射区。该机制允许在满足光刻生产要求的同时，降低毛细管放电的重复频率，从而提高光源的稳定性和效率。
员工数量
-
专利数量
2
经营范围
一般项目：半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；半导体分立器件制造；半导体分立器件销售；光电子器件制造；光电子器件销售；电子元器件制造；电子元器件批发；电子专用材料制造；电子专用材料销售；电子专用材料研发；集成电路芯片及产品制造；集成电路芯片及产品销售；货物进出口；技术进出口；进出口代理（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
极紫外光刻光源制造
苏州极紫外半导体有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
2022-07-13
赵军滨
3084805668@qq.com
江苏省苏州市张家港市塘桥镇滩里村1幢