极紫外光源系统设计与集成
专注于极紫外光刻技术（EUVL）光源系统的研发、设计和集成服务。具体包括设计预脉冲电源、放电室、主脉冲电源、计算机控制系统和LPP控制器系统。其中，电源系统和放电系统由公司设计后由中国物理研究所和沈阳真空设备厂承建；计算机控制系统和LPP控制器系统由公司自研生产。核心技术基于毛细管放电三束等离子体耦合机制，通过激光等离子体（LPP）热膨胀力与洛仑兹力相互作用，提高极紫外辐射能效并降低光刻生产成本，实现13.5nm波长光源在半导体制造中的应用，支持30nm以下技术节点的大规模工业生产。
员工数量
-
专利数量
2
经营范围
一般项目：半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；半导体分立器件制造；半导体分立器件销售；光电子器件制造；光电子器件销售；电子元器件制造；电子元器件批发；电子专用材料制造；电子专用材料销售；电子专用材料研发；集成电路芯片及产品制造；集成电路芯片及产品销售；货物进出口；技术进出口；进出口代理（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
极紫外光刻光源制造
苏州极紫外半导体有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
2022-07-13
赵军滨
3084805668@qq.com
江苏省苏州市张家港市塘桥镇滩里村1幢