真空获得系统
收藏
已收藏
公司推荐
产品详情
该产品是恒运昌的核心系列之一，包括高真空泵、真空阀门和真空腔体等组件，专为半导体和高端制造领域设计，提供超高真空（UHV）环境支持薄膜沉积、离子注入等工艺。系统具备快速抽气能力（真空度可达10-7 Torr级）、高稳定性和低能耗特性，采用智能化监控模块实现压力实时调节和故障诊断，满足严苛的工业生产需求。
融资次数
3
员工数量
-
专利数量
179
公司简介
恒运昌创立于2013年，是一家集等离子电源系统、真空获得系统、气体流量控制系统的研发设计、智能制造及技术进出口于一体的专精特新“小巨人”企业。公司核心团队在射频电源领域的研发、运营和市场积累了多年经验，已成功突破我国半导体级射频电源卡脖子难题，率先实现批量出货，产品性能媲美国际先进水平。
经营范围
一般经营项目是：真空设备、真空离子电源、新能源材料、半导体设备、气体质量流量计、真空泵、阴极、靶材、机电产品的技术开发、技术咨询与销售；真空设备租赁;国内贸易，货物及技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动），许可经营项目是：提供真空设备维修服务；生产工业电源；成品油批发（不含危险化学品）。
主营业务
等离子电源系统、真空获得系统和气体流量控制系统的研发、设计与智能制造，同时配套技术进出口服务，核心优势在于半导体级射频电源的突破性技术，实现批量生产并媲美国际先进水平。
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
其他股份有限公司(非上市)
￥5,077万
2013-03-19
乐卫平
0755-27813086
philip.le@csl-vacuum.com
深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101，201，301