射频电源系统
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产品详情
恒运昌公司研发的射频电源系统主要应用于半导体制造设备中，用于生成和精确控制等离子体，支持蚀刻、沉积等关键工艺。该系统采用了先进的射频技术，突破了我国在半导体级电源领域的卡脖子问题，输出频率范围宽、功率稳定（可达数千瓦），实现了高精度匹配和低谐波干扰，确保在复杂工艺环境下稳定运行，产品性能已达到国际先进水平，已通过批量出货应用于国内多家半导体生产线。
融资次数
3
员工数量
-
专利数量
179
公司简介
恒运昌创立于2013年，是一家集等离子电源系统、真空获得系统、气体流量控制系统的研发设计、智能制造及技术进出口于一体的专精特新“小巨人”企业。公司核心团队在射频电源领域的研发、运营和市场积累了多年经验，已成功突破我国半导体级射频电源卡脖子难题，率先实现批量出货，产品性能媲美国际先进水平。
经营范围
一般经营项目是：真空设备、真空离子电源、新能源材料、半导体设备、气体质量流量计、真空泵、阴极、靶材、机电产品的技术开发、技术咨询与销售；真空设备租赁;国内贸易，货物及技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动），许可经营项目是：提供真空设备维修服务；生产工业电源；成品油批发（不含危险化学品）。
主营业务
等离子电源系统、真空获得系统和气体流量控制系统的研发、设计与智能制造，同时配套技术进出口服务，核心优势在于半导体级射频电源的突破性技术，实现批量生产并媲美国际先进水平。
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
其他股份有限公司(非上市)
￥5,077万
2013-03-19
乐卫平
0755-27813086
philip.le@csl-vacuum.com
深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101，201，301