石墨烯卷对卷设备
连续式生产设备，用于卷对卷（Roll-to-Roll）工艺制造石墨烯薄膜。结合卷绕系统实现连续转移和规模化生产，提高效率，服务于透明电极等工业应用。
石墨烯CVD设备
化学气相沉积设备，用于在金属基板上合成石墨烯薄膜。通过碳源气体在高温下分解和沉积，支持大规模、高质量石墨烯制备，应用于柔性电子和传感技术。
坩埚下降炉
坩埚下降法设备，用于控制晶体的定向凝固生长（如蓝宝石或SiC）。通过缓慢冷却熔融材料形成单晶结构，服务于光学和电子材料生产。
晶体提拉炉
直拉法（Czochralski）设备，用于从熔融状态中提拉单晶硅或化合物材料。通过精确控制旋转和温度，生长圆柱状高质量晶体，适用于硅晶圆制造。
SiC高温退火炉
专用于SiC半导体材料的退火处理，在高温下活化杂质或修复晶格缺陷。支持快速热退火，提升晶体质量和器件性能，服务于宽带隙半导体应用。
SiC高温氧化炉
针对碳化硅晶片的高温氧化设备，用于制造绝缘栅介质（如二氧化硅）。在控制气氛中实现选择性氧化，提高SiC功率器件的电气隔离效果。
MPCVD设备
微波等离子体化学气相沉积设备，用于金刚石或类似薄膜的合成。通过微波能量激活化学反应，支持高纯度碳基材料的低温生长，适用于工业级硬质薄膜应用。
SiC籽晶粘结设备
专用晶片处理设备，用于碳化硅籽晶的精确定位和粘结，确保在后续生长过程中的晶体取向和质量。服务于SiC单晶生长工艺的前端步骤。
融资次数
1
员工数量
50-99人
专利数量
28
经营范围
半导体材料及集成电路设备、晶体设备、真空设备、机械设备（不含特种设备）、太阳能光伏设备及配件的生产加工、设计、技术开发、销售；批发、零售：仪器仪表；进出口业务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
主营业务
半导体工艺设备的研发、生产与销售
山东力冠微电子装备有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥1,050万
2013-01-22
孙军伟
0531-87905298
liguan88@liguanchina.com
山东省济南市槐荫区太平河北路宽禁带半导体产业园E座