产品&解决方案
专业化退火设备，通过多温区精准控温实现晶体应力消除与缺陷修复。支持惰性/反应性气体环境控制，适用于碳化硅等第三代半导体晶体的后生长处理工艺。
专用高温合成炉系统，通过精确控制硅碳元素反应比例与温度曲线，制备高纯度碳化硅源粉，为晶体生长设备提供核心原材料，确保材料纯度达半导体级标准。
针对宽禁带半导体材料特性设计的晶体生长设备，支持高温环境下的氮化铝单晶合成，具有低缺陷密度控制能力，适用于深紫外光电器件基板开发。
采用MPCVD法（微波等离子体化学气相沉积）技术，通过微波激发等离子体实现碳源离解，在低压环境下合成高品质金刚石晶体。专注于高导热、高耐压单晶/多晶金刚石制备。
基于PVT法（物理气相传输法）的晶体生长设备，专门用于制备高质量碳化硅单晶。该设备精确控制温度梯度、气压及生长速率等参数，适用于制造高纯度、大尺寸碳化硅晶锭，满足功率半导体器件基板需求。
专为半导体晶体设计的先进热处理设备。主要功能包括晶体生长后的高温退火处理、掺杂激活、应力消除等。该炉型需具备极高的温度均匀性、精确的温度控制(可达2500°C或更高)以及可控的气氛环境(真空或特定保护气氛)，以满足不同晶体材料(如SiC、金刚石等)的后工艺处理要求。
用于生产碳化硅晶体生长所需的碳化硅原料粉体的设备。在高温下(通常超过2000°C)将高纯度的硅源和碳源按化学计量比混合反应，合成出满足特定粒径、纯度和化学计量比要求的SiC粉末。这是高质量SiC晶体生长的原料保障环节。
专用于生长氮化铝(AlN)晶体的设备。氮化铝是一种重要的宽禁带半导体材料，尤其是在深紫外光电子器件和高频大功率电子器件方面有巨大潜力。该设备同样采用高温生长技术，如改进的PVT或HVPE(氢化物气相外延)法，以实现高质量的AlN晶体生长。
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融资次数
2
员工数量
小于50人
专利数量
5
公司简介
杭州晶驰机电科技有限公司是一家半导体设备优选供应商，精准服务于第三代半导体行业优质客户，目前公司产品包括碳化硅晶体生长设备（PVT法）、金刚石生长设备（MPCVD法）、氮化铝生长设备、碳化硅源粉合成炉、晶体热处理炉等。 公司牢固树立人力资源为第一资源的理念，秉承“尊重人才价值、塑造人才品质、致力人才成长”的宗旨，以人为本、同心同向，实现公司与员工的共同发展。
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；金属材料销售；石墨及碳素制品销售；机械设备销售；仪器仪表销售；半导体器件专用设备销售；集成电路芯片及产品销售；软件开发；计算机软硬件及辅助设备批发；计算机软硬件及辅助设备零售；五金产品研发；五金产品批发；五金产品零售；技术玻璃制品销售(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)。
主营业务
专注于研发、制造和销售用于第三代半导体材料（如碳化硅、金刚石和氮化铝）的生长设备及辅助设备，包括晶体生长、合成和热处理等全过程解决方案。
杭州晶驰机电科技有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥760万
2021-06-30
郭森
19357105850
jcjd@jcem.com.cn
浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号信息港五期一号楼205-14