晶体热处理技术
专用于半导体晶体的后处理，包括退火和纯化过程，以优化晶体结构和减少内部缺陷。技术重点在于热场均匀性控制和温度曲线编程，支持大尺寸晶圆的批次处理。
碳化硅源粉合成技术
该技术通过可控化学反应合成高纯度碳化硅粉末，作为晶体生长的关键原料。工艺涉及连续化的高温炉设计和杂质去除机制，确保粉体颗粒分布均匀、成分稳定。
氮化铝晶体生长技术
基于高温高压或改良的PVT法，用于生长高热导率和电绝缘性的氮化铝单晶。技术核心在于源材处理和生长条件精确调控，以降低内部应力和缺陷，适用于高性能电子材料需求。
MPCVD法金刚石生长技术
微波等离子体化学气相沉积技术利用微波能量激发等离子体，裂解含碳气体（如甲烷），在基底上沉积高质量人造金刚石。关键创新点包括等离子体稳定性控制和气体流场优化，以提高金刚石薄膜的均一性和纯度。
PVT法碳化硅晶体生长技术
该技术采用物理气相输运原理，在高温条件下通过精确控制温度梯度和源粉升华，实现碳化硅单晶的沉积生长。具体涉及真空环境下的热场优化设计，确保晶体生长过程中的均匀性和缺陷控制，以支持大尺寸晶圆制造。
融资次数
2
员工数量
小于50人
专利数量
5
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；金属材料销售；石墨及碳素制品销售；机械设备销售；仪器仪表销售；半导体器件专用设备销售；集成电路芯片及产品销售；软件开发；计算机软硬件及辅助设备批发；计算机软硬件及辅助设备零售；五金产品研发；五金产品批发；五金产品零售；技术玻璃制品销售(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)。
主营业务
专注于研发、制造和销售用于第三代半导体材料（如碳化硅、金刚石和氮化铝）的生长设备及辅助设备，包括晶体生长、合成和热处理等全过程解决方案。
杭州晶驰机电科技有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
2021-06-30
郭森
jcjd@jcem.com.cn
浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号信息港五期一号楼205-14