高端光刻机浸液系统流体控制技术
启尔机电的浸液系统采用创新微流体控制设计，通过精密的流场优化算法和温度稳定机制，实现液体（如超纯水）在光刻机晶圆与镜头间的均匀覆盖。该技术创新点包括低湍流扰动设计和动态压力反馈系统，有效减少气泡生成和温度梯度引起的折射率变化，从而提升光刻分辨率和良率。应用先进的流体动力学模型，支持高吞吐量操作和污染隔离。
融资次数
4
员工数量
100-499人
专利数量
116
经营范围
一般项目：机械设备研发；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；仪器仪表制造；仪器仪表销售；泵及真空设备销售；泵及真空设备制造；机械零件、零部件销售；机械零件、零部件加工；机械设备销售(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)。许可项目：技术进出口；货物进出口(依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以审批结果为准)。
主营业务
高端光刻机浸液系统的研发与生产
浙江启尔机电技术有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥3,056万
2013-05-24
陈文昱
61106990
cheertech@cheertech.ltd
浙江省杭州市临安区青山湖街道励新路99号