真空部件
中科九微提供各类真空系统中的关键组件，如金属密封法兰（如ISO、KF类型）、真空接头、波纹管和密封圈（如O型圈）。这些部件确保系统完整性，用于连接管道、仪器和设备，支持高压、高温环境下的真空密封。应用场景涵盖半导体设备维护、光伏生产线集成和实验室真空系统搭建，强调材料兼容性（如316L不锈钢或Viton橡胶）和长寿命设计。
真空测量设备
中科九微的真空测量设备包括电容薄膜规（Pirani）真空计、热阴极电离规等传感器，用于实时监测和记录真空系统的压力（范围从大气压到10-10 mbar）。这些仪器具有高精度、宽量程特点，适用于半导体制造过程中的在线监控、生物医药冻干机控制和科研真空实验，提供数字或模拟输出接口便于数据集成。
真空腔体
中科九微设计制造的真空腔体主要用于创建和控制高真空或超高真空环境，产品包括标准尺寸和定制型号的腔室。采用不锈钢或铝合金材质，内部表面经过特殊处理以减少脱气。应用于半导体晶圆处理、光伏电池沉积和科研实验设备，能承受极端温度（-196°C至1200°C）和压力变化，支持集成加热/冷却系统。
真空阀门
中科九微的真空阀门系列涵盖手动、自动控制类型，如高真空挡板阀、角阀和球阀。这些阀门用于精确调节和隔离真空系统中的气流，确保密封性在10-9 mbar·L/s级别以下。适用领域包括半导体设备中的传输腔室和负载锁定系统，提供快速响应、低泄漏率的可靠性能。
真空泵
中科九微的真空泵产品包括干式真空泵和油密封真空泵等类型，专为半导体制造、光伏太阳能和生物医药等高精度工业设计。具体应用于蚀刻、化学气相沉积（CVD）等工艺，提供无油或低油环境的真空解决方案，具有高抽速、低振动和长寿命特性。型号如螺杆式真空泵广泛应用于洁净室环境。
科创行业
融资次数
3
员工数量
100-499人
专利数量
117
经营范围
一般项目：半导体器件专用设备制造；泵及真空设备制造；电子专用设备制造；电子元器件制造；通用设备制造（不含特种设备制造）；半导体器件专用设备销售；泵及真空设备销售；电子专用设备销售；电子元器件零售；机械设备销售；金属表面处理及热处理加工；仪器仪表修理；通用设备修理；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；货物进出口；进出口代理；技术进出口（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。
主营业务
专注于真空领域高科技产品的研发、制造和销售，包括真空泵、真空阀门、真空腔体、真空测量设备及关键部件，服务于半导体、光伏、生物医药和科研等高端行业的需求。
中科九微科技股份有限公司
其他股份有限公司(非上市)
￥2.2466亿
2018-09-07
陈林
0817-8621111
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四川省南充市顺庆区高新大道一段299号