智能真空泄漏检测与测量技术
该技术整合高灵敏度真空计和算法驱动的泄漏检测系统，利用质谱分析原理实现微量气体泄漏的精确识别。创新点包括多传感器数据融合及自适应阈值设置，能自动修正环境干扰并实时报告泄漏位置。配合压力传感器阵列，提供动态真空度实时监控，显著提升检测精度和响应速度。
高速磁悬浮分子泵技术
该技术采用磁悬浮轴承驱动涡轮分子泵，实现高速旋转下的无机械摩擦运转。创新点在于利用主动磁悬浮控制系统消除传统轴承的接触磨损，提供超高真空度（10^{-8} Pa以上）和洁净环境。通过优化叶片气动设计，提升抽气效率，同时集成智能诊断模块，实时监控振动和温度，确保了系统的可靠性和稳定性。
科创行业
融资次数
3
员工数量
100-499人
专利数量
117
经营范围
一般项目：半导体器件专用设备制造；泵及真空设备制造；电子专用设备制造；电子元器件制造；通用设备制造（不含特种设备制造）；半导体器件专用设备销售；泵及真空设备销售；电子专用设备销售；电子元器件零售；机械设备销售；金属表面处理及热处理加工；仪器仪表修理；通用设备修理；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；货物进出口；进出口代理；技术进出口（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。
主营业务
专注于真空领域高科技产品的研发、制造和销售，包括真空泵、真空阀门、真空腔体、真空测量设备及关键部件，服务于半导体、光伏、生物医药和科研等高端行业的需求。
中科九微科技股份有限公司
其他股份有限公司(非上市)
￥2.2466亿
2018-09-07
陈林
0817-8621111
182419333@qq.com
四川省南充市顺庆区高新大道一段299号