磁悬浮分子泵在半导体制造中的无污染真空解决方案
此解决方案基于合肥昱驰的磁悬浮复合分子泵技术，专门针对集成电路和平板显示制造中的高真空需求设计，提供无油、低振动环境，确保生产过程无颗粒污染。系统通过磁悬浮轴承实现非接触运行，显著提升抽真空速度和稳定性，适用于洁净室环境，能大幅降低设备故障率和提高良率。
融资次数
3
员工数量
小于50人
专利数量
19
经营范围
真空泵研发及制造；泵及真空设备制造；真空阀门制造；真空计制造；试验机械、检测仪器、器具零件制造；集成电路生产设备制造；集成电路封装、测试设备制造；电子半导体材料制造；实验分析仪器制造；计算机软硬件技术开发、技术咨询、技术服务；工业软件开发；基础软件开发；基础软件服务；工程和技术研究和试验发展；工程和技术基础科学研究服务；货物或技术进出口（国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
主营业务
磁悬浮分子泵及高端真空装备的研发、制造与销售，并提供相关真空技术解决方案
合肥昱驰真空技术有限公司
其他有限责任公司
￥617万
2020-11-02
刘敏强
18156540924
yuqiao0220@126.com
中国（安徽）自由贸易试验区合肥市高新区长宁大道与长安路交口西南角集成电路标准化厂房A-1＃厂房3层301