磁悬浮复合分子泵技术
该技术通过磁悬浮轴承实现转子无接触旋转，结合高速永磁同步电机驱动多级复合分子叶片，创新点为自主研发的主动磁轴承控制系统（包括位置传感器和实时控制器），可实现超高精度悬浮稳定（微米级控制），规避传统分子泵的机械润滑需求和磨损问题，大幅提升真空度和效率，适用于超高真空（10^-6 Pa级）环境并支持高效抽气。
融资次数
3
员工数量
小于50人
专利数量
19
经营范围
真空泵研发及制造；泵及真空设备制造；真空阀门制造；真空计制造；试验机械、检测仪器、器具零件制造；集成电路生产设备制造；集成电路封装、测试设备制造；电子半导体材料制造；实验分析仪器制造；计算机软硬件技术开发、技术咨询、技术服务；工业软件开发；基础软件开发；基础软件服务；工程和技术研究和试验发展；工程和技术基础科学研究服务；货物或技术进出口（国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
主营业务
磁悬浮分子泵及高端真空装备的研发、制造与销售，并提供相关真空技术解决方案
合肥昱驰真空技术有限公司
其他有限责任公司
￥617万
2020-11-02
刘敏强
18156540924
yuqiao0220@126.com
中国（安徽）自由贸易试验区合肥市高新区长宁大道与长安路交口西南角集成电路标准化厂房A-1＃厂房3层301