外延生长设备生产与销售
制造和销售自主研发的碳化硅外延生长设备,提供从设备安装、工艺调试到售后维护的一站式服务,帮助客户提升自身外延生产能力。
外延生长设备研发
研发用于碳化硅外延生长的核心设备,如MOCVD反应室设计和控制系统,专注于提高外延均匀性、沉积效率和设备稳定性,以满足大规模生产需求。
碳化硅外延片销售
面向全球客户销售标准化和定制化碳化硅外延片产品,应用领域包括电动汽车、可再生能源逆变器、数据中心电源和工业电机驱动等,提供技术支持和服务以确保客户满意度。
碳化硅外延片生产
大规模制造4英寸、6英寸或更大尺寸的碳化硅外延晶片,采用先进的MOCVD(金属有机化学气相沉积)工艺,确保产品在功率半导体器件(如MOSFET和二极管)中具有高可靠性和高良率。
碳化硅外延片研发
专注于第三代半导体碳化硅(SiC)外延生长技术的研发,包括材料特性优化、外延层质量控制、缺陷降低和新工艺开发,以提升外延片的高温、高频和高功率性能。