半导体光学缺陷检测解决方案
该解决方案基于匠岭半导体的光学缺陷检测机台，通过光学显微成像或暗场照明技术，用于检测晶圆表面和内部的缺陷，包括颗粒污染、图案缺陷和微观裂纹。适用于生产在线监控，提供详细的缺陷分类和定位信息，以提升整体良率。
半导体线宽量测解决方案
该解决方案基于匠岭半导体的光学线宽量测机台，采用散射法或成像技术（如光学CD-SEM辅助方法），用于精确测量半导体图案的关键尺寸（CD）包括线条宽度、间距和侧壁角。聚焦于图案化过程的质量控制，帮助检测线宽偏差并及时调整光刻参数。
半导体薄膜厚度量测解决方案
该解决方案基于匠岭半导体的光学薄膜量测机台，利用高精度光谱椭偏技术或干涉测量方法，用于实时测量半导体晶圆上薄膜的厚度、折射率和消光系数。主要服务于晶圆制造过程中的薄膜沉积环节，确保工艺参数符合设计要求并提升良率。
融资次数
4
员工数量
小于50人
专利数量
13
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备销售；电子元器件与机电组件设备销售；软件销售；软件开发；电子产品销售；货物进出口；技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
半导体光学量测和检测装备的研发、制造和销售，提供高精度的光学量测解决方案，服务于集成电路制造环节，以确保产品质量和生产效率。
匠岭科技（上海）有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥3,623万
2019-03-04
蒋俭威
79403682@qq.com
中国（上海）自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼