光掩模全生命周期管理技术
整合保护膜贴装、精密清洗、缺陷修补及原位检测等全流程技术。采用创新的无损检测算法与纳米级修复工艺，开发出适用于极紫外(EUV)掩模版的清洗维护方案，显著延长掩模使用寿命。创新点在于建立行业领先的缺陷控制标准和质量追溯系统。
先进光掩模制造技术
专注于半导体光掩模的产业化生产，核心工艺包括高精度图形生成、缺陷控制和纳米级加工。通过自主研发的制程优化，实现对线宽≤130nm节点的支持，满足先进集成电路制造需求。创新点体现在自主开发的光掩模材料处理流程和本土化生产工艺，突破国外技术封锁。
融资次数
2
员工数量
100-499人
专利数量
25
经营范围
电子专用材料制造;电子专用材料研发;电子专用材料销售;集成电路设计;集成电路制造;集成电路销售;半导体器件专用设备制造;半导体器件专用设备销售;电子产品销售;集成电路芯片及产品制造;集成电路芯片及产品销售;软件开发;软件销售;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;信息技术咨询服务;科技中介服务;企业管理咨询;信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）;采购代理服务;技术进出口;货物进出口
主营业务
先进半导体光掩模的研发与产业化生产
广州新锐光掩模科技有限公司
其他有限责任公司
￥23.6亿
2021-02-08
邱慈云
020-82110588
biyunzeng@nrmtc.com
广州市黄埔区新芯光产业园新芯光一街2号