精密机械与自动化控制系统
该技术包括高精度晶圆对位和扫描模块，基于亚微米级直线电机和闭环反馈控制，确保运动重复精度<5nm。创新点在于热变形补偿算法和振动抑制设计，结合模块化结构适配不同晶圆尺寸，提升设备在高速全片扫描中的稳定性。系统还整合了自动化recipe管理系统，支持一键式参数配置以适应多场景检测需求。
基于AI的图像处理算法
该算法系统利用深度神经网络（DNN）模型进行实时图像分析和缺陷分类，融合多传感器数据源（如光学和散斑图像）以克服噪声干扰。创新点在于采用生成对抗网络（GAN）进行数据增强，处理小样本训练问题，并实现自适应阈值机制，减少过检率。针对7nm节点的微观结构，该系统提供>98%的缺陷识别准确率，支持自动缺陷分类（如颗粒、CMP残留等）。
暗场光学检测技术
纳诺半导体开发的高灵敏度暗场照明系统，专为12寸晶圆在7nm及以下制程的表面缺陷检测设计。该技术基于暗场散射原理，通过优化光源波长和角度（如UV或深紫外波段），结合自适应光学元件提升微米级缺陷的信噪比。创新点在于整合国产自研的光学校准算法，实现针对晶圆翘曲和薄膜层变化的实时补偿，稳定性优于传统设备，可有效检测亚10nm的颗粒和划痕。
融资次数
3
员工数量
小于50人
专利数量
3
经营范围
一般项目：半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；半导体分立器件制造；半导体分立器件销售；仪器仪表制造；仪器仪表销售；仪器仪表修理；软件开发；在线能源监测技术研发；在线能源计量技术研发；信息系统集成服务；电力电子元器件制造；电子元器件批发；电子元器件零售；电子专用设备制造；电子专用设备销售；通用设备修理；专用设备修理；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广（除许可业务外，可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目）
主营业务
主营半导体12寸晶圆7nm缺陷光学检测设备的研发、生产与销售，并提供前道检测技术解决方案，助力中国半导体制造实现独立自主。
合肥市纳诺半导体有限公司
有限责任公司(外商投资、非独资)
￥1,448万
2021-07-15
ZHUJUN
13921073061
jun.zhu@semixchina.com
中国（安徽）自由贸易试验区合肥片区高新区望江西路900号中安创谷科技园一期A3A4栋6层628室