衬底片缺陷检测解决方案
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产品详情
该解决方案利用法博思研发的衬底片检测设备,专注于检测大尺寸硅片和第三代半导体材料(如SiC和GaN)的几何形貌(如表面平整度、厚度变化)和各类缺陷(包括表面裂纹、污染颗粒和结构性缺损)。通过自动化光学和电学测量技术,实现对衬底片的高精度快速检测,支持半导体前期制造过程的质控。
融资次数
2
员工数量
小于50人
专利数量
9
公司简介
法博思成立于2019年,是一家半导体测量设备研发商,致力于为半导体行业客户提供国产化、自主可控的量测设备。产品线方面,公司目前核心产品包括两大类:衬底片检测设备、晶圆级先进封装检测设备。其中,衬底片检测设备包括大硅片、三代半在内的各种衬底片几何形貌以及缺陷;晶圆级先进封装检测设备包括2D/3D的缺陷检测、粗糙度、TSV等轮廓检测以及OVERLAY和CD检测。
经营范围
人工智能设备、半导体设备、机电设备、自动化设备、电子产品、光电设备、机械设备、计算机、软件的研发、销售、维修、技术咨询、技术服务、技术转让;自营和代理货物和技术的进出口,但国家限定经营或禁止进出口的货物和技术除外。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
主营业务
半导体量测设备的研发、生产和提供,包括衬底片检测设备和晶圆级先进封装检测设备,致力于为半导体行业客户提供国产化、自主可控的量测解决方案。
法博思(宁波)半导体设备有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
¥625万
2019-06-18
宋金龙
0574-28898956
1374843844@qq.com
浙江省宁波市余姚市三七市镇云山中路28号(千人计划产业园内)(自主申报)