产品&解决方案
该解决方案基于法博思的设备进行晶圆级封装过程的全方位检测，涵盖2D/3D缺陷识别、表面粗糙度分析、TSV（硅通孔）轮廓精度测量、OVERLAY（套刻对准）精度校验和CD（关键尺寸）参数评估。利用光学和电子束技术，实现对复杂封装结构的非破坏性测量，适用于先进封装技术开发和生产流程优化。
该解决方案利用法博思研发的衬底片检测设备，专注于检测大尺寸硅片和第三代半导体材料（如SiC和GaN）的几何形貌（如表面平整度、厚度变化）和各类缺陷（包括表面裂纹、污染颗粒和结构性缺损）。通过自动化光学和电学测量技术，实现对衬底片的高精度快速检测，支持半导体前期制造过程的质控。
法博思的晶圆级先进封装检测设备专为高集成度封装工艺设计，核心功能包括：2D和3D缺陷检测（如空洞、裂纹、夹杂）以识别微观异常；表面粗糙度测量以评估材料平整度；TSV（硅通孔）轮廓检测以监控通孔形状和深度；OVERLAY（套刻精度）测量以评估各层对准误差；以及CD（关键尺寸）检测以确保特征尺寸符合设计规范。该设备提供高速、高分辨率的分析能力，满足先进封装（如Fan-Out、3D封装）的质量控制需求，确保产品可靠性和良品率。
法博思的衬底片检测设备专注于半导体材料质量控制，针对大尺寸硅片以及第三代半导体材料（如氮化镓GaN、碳化硅SiC）进行高精度测量。主要功能包括：几何形貌检测（如表面平整度、厚度变化、弯曲度）和缺陷识别（如刮痕、颗粒、杂质），帮助客户确保衬底片在制造过程中的一致性。该设备支持全自动操作，可处理各种衬底尺寸和材质，提升半导体材料的良品率。
融资次数
2
员工数量
小于50人
专利数量
9
公司简介
法博思成立于2019年，是一家半导体测量设备研发商，致力于为半导体行业客户提供国产化、自主可控的量测设备。产品线方面，公司目前核心产品包括两大类：衬底片检测设备、晶圆级先进封装检测设备。其中，衬底片检测设备包括大硅片、三代半在内的各种衬底片几何形貌以及缺陷；晶圆级先进封装检测设备包括2D/3D的缺陷检测、粗糙度、TSV等轮廓检测以及OVERLAY和CD检测。
经营范围
人工智能设备、半导体设备、机电设备、自动化设备、电子产品、光电设备、机械设备、计算机、软件的研发、销售、维修、技术咨询、技术服务、技术转让；自营和代理货物和技术的进出口，但国家限定经营或禁止进出口的货物和技术除外。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
主营业务
半导体量测设备的研发、生产和提供，包括衬底片检测设备和晶圆级先进封装检测设备，致力于为半导体行业客户提供国产化、自主可控的量测解决方案。
法博思（宁波）半导体设备有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥625万
2019-06-18
宋金龙
0574-28898956
1374843844@qq.com
浙江省宁波市余姚市三七市镇云山中路28号（千人计划产业园内）（自主申报）