电子级氧化亚氮（笑气）纯化与供应技术
绿菱气体开发的笑气（N2O）高纯化系统，创新在采用先进的吸附和化学过滤步骤，去除水分、碳氢化合物等痕量污染物，达到亚ppb水平纯度。突出创新点是实现了无缝的大批量供应模式，结合在线监测技术实时保障气体稳定性，支持长周期半导体制造过程。这解决了传统气体供应中的纯度波动问题，并在国产替代中填补技术空白。
高纯度电子级氟碳类特气生产技术
绿菱气体自主研发的氟碳类气体（如四氟化碳CF4、六氟化硫替代品等）高纯化工艺，创新点在于采用多级低温精馏耦合催化纯化技术，实现杂质含量控制至ppb（十亿分之一）级别，确保气体纯度超过99.999%（5N级）。这种技术解决了半导体蚀刻过程中痕量杂质引起的缺陷问题，核心创新在于国产化的连续生产系统和优化反应器设计，降低能耗并提高批次稳定性。
融资次数
6
员工数量
50-99人
专利数量
40
经营范围
许可项目：特种设备检验检测。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准）一般项目：电子专用材料制造；电子专用材料研发；信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；金属材料销售；装卸搬运；非居住房地产租赁；特种设备出租；专用设备修理；石油钻采专用设备销售；电子真空器件制造；电子元器件制造；劳务服务（不含劳务派遣）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
专注于半导体行业用电子特种气体的自主研发、生产和供应，特别在氟碳类高纯气体和笑气领域具有国内领先地位。
天津绿菱气体有限公司
有限责任公司
￥1.5027亿
2018-07-13
郭永洁
022-58992580
su.jing@linggas.com
天津经济技术开发区港达路12号