超真空(UHV)系统解决方案
该解决方案提供超真空环境支持,确保镀膜过程无污染和杂质干扰。系统结合真空泵和密封技术,维持稳定的高压或低压状态,适合高洁净度应用。可集成到多种沉积设备中,保障涂层质量和可靠性。
热阻式/电子束蒸发镀膜系统解决方案
该解决方案整合热阻式和电子束蒸发技术,适用于大面积、高纯度的薄膜沉积。系统通过电子束精准熔化材料,结合真空环境避免污染,提供高质量光学和电子涂层。支持多种蒸发源,适配不同材料的快速沉积。
磁控溅射镀膜系统解决方案
该解决方案利用磁控溅射技术,实现金属或合金薄膜的高效沉积。系统结合溅射源和真空控制系统,提供稳定的沉积速率和良好的附着力,适用于高产出场景。可定制配置,如旋转靶材或冷却系统,满足多样化工艺要求。
原子层沉积(ALD)系统解决方案
该解决方案基于原子层沉积技术,为纳米级薄膜沉积提供精确控制,适用于极薄层的均匀涂层。系统采用模块化设计,支持多材料和工艺参数调整,确保高重复性和低缺陷率,服务于半导体和新能源领域的高端制造需求。
融资次数
6
员工数量
小于50人
专利数量
64
经营范围
电子工业专用设备制造(仅限其分支机构代为加工);电工机械专用设备制造(仅限其分支机构代为加工);纳米材料制造(仅限其分支机构代为加工);制药专用设备制造(仅限其分支机构代为加工);其他机械设备及电子产品批发;电气设备批发;信息技术咨询服务;其他未列明信息技术服务业(不含需经许可审批的项目);其他未列明专业技术服务业(不含需经许可审批的事项);合同能源管理;其他未列明科技推广和应用服务业;石墨及碳素制品制造(仅限其分支机构代为加工);其他未列明非金属矿物制品制造(仅限其分支机构代为加工);其他专用设备制造(不含需经许可审批的项目)(仅限其分支机构代为加工);其他非金属加工专用设备制造(仅限其分支机构代为加工);经营各类商品和技术的进出口(不另附进出口商品目录),但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外。
主营业务
专注于设计、制造和销售纳米级表面成膜设备,包括原子层沉积系统、热阻式/电子束蒸发机、磁控溅射系统和超高真空装备,服务于高科产业的薄膜沉积需求,并为科研机构和企业提供完整的解决方案。
厦门韫茂科技有限公司
有限责任公司(外商投资、非独资)
¥529万
2018-03-19
YUNYU WANG
15806053572
2240450507@qq.com
厦门市软件园三期集美大道1300号创新大厦6楼之四十一