超高真空（UHV）系统
集成分子泵、离子泵等多级真空获得装置，真空度达10-9 mbar量级，配置烘烤除气与残余气体分析模块，为量子计算器件制造、表面科学研究提供无污染的超净工艺环境
磁控溅射镀膜系统
采用磁控溅射技术，在等离子体环境中利用磁场约束电子路径提高电离效率，支持直流/射频溅射模式，可沉积合金、化合物等多种薄膜，特别适用于微机电系统（MEMS）封装层、超导薄膜的批量生产
电子束蒸发镀膜设备
通过电子枪聚焦高能电子束轰击靶材实现材料蒸发，配备多坩埚旋转系统和膜厚监控仪，支持高熔点材料（如氧化物、碳化物）的沉积，广泛应用于太阳能电池电极、LED器件金属反射层制备
热阻式蒸发镀膜设备
使用电阻加热方式使镀膜材料气化沉积，配置精确温控系统与基片旋转机构，主要应用于金属电极、光学薄膜等常规镀膜场景，兼容多种低熔点金属及合金材料蒸发工艺
原子层沉积镀膜设备
采用原子层沉积（ALD）技术实现纳米级薄膜生长，通过前驱体脉冲式交替反应实现单原子层精度的成膜控制，特别适用于高深宽比复杂结构的均匀镀膜，满足半导体器件、量子计算芯片的介电层/金属层沉积需求
融资次数
6
员工数量
小于50人
专利数量
64
经营范围
电子工业专用设备制造(仅限其分支机构代为加工)；电工机械专用设备制造(仅限其分支机构代为加工)；纳米材料制造(仅限其分支机构代为加工)；制药专用设备制造(仅限其分支机构代为加工)；其他机械设备及电子产品批发；电气设备批发；信息技术咨询服务；其他未列明信息技术服务业（不含需经许可审批的项目）；其他未列明专业技术服务业（不含需经许可审批的事项）；合同能源管理；其他未列明科技推广和应用服务业；石墨及碳素制品制造(仅限其分支机构代为加工)；其他未列明非金属矿物制品制造(仅限其分支机构代为加工)；其他专用设备制造（不含需经许可审批的项目）(仅限其分支机构代为加工)；其他非金属加工专用设备制造(仅限其分支机构代为加工)；经营各类商品和技术的进出口（不另附进出口商品目录），但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外。
主营业务
专注于设计、制造和销售纳米级表面成膜设备，包括原子层沉积系统、热阻式/电子束蒸发机、磁控溅射系统和超高真空装备，服务于高科产业的薄膜沉积需求，并为科研机构和企业提供完整的解决方案。
厦门韫茂科技有限公司
有限责任公司（外商投资、非独资）
￥529万
2018-03-19
YUNYU WANG
15806053572
2240450507@qq.com
厦门市软件园三期集美大道1300号创新大厦6楼之四十一