光伏电池片制程石英耗材集成解决方案
针对PERC/HJT光伏电池制造中的管式PECVD和扩散工艺，提供全套石英舟、喷淋头及承载器具。利用石英材料的高温抗变形特性（最高耐受1200℃），确保在镀膜和掺杂工艺中维持稳定的气体分布，并通过表面抛光处理减少碎片率，延长设备连续运行周期。
半导体蚀刻及热处理设备高纯石英部件解决方案
该解决方案提供用于半导体芯片制造过程中蚀刻、扩散和热处理设备的定制化高纯石英组件，如石英管、舟皿和反应腔体衬里。基于辽宁拓邦鸿基的无尘净化车间制造，确保产品符合半导体级洁净度要求（如ISO Class 5），并通过精密加工保证尺寸精度和热稳定性，直接应用于晶圆加工环节以防止金属污染。
融资次数
3
员工数量
100-499人
专利数量
44
经营范围
半导体、光伏、航空、工业领域用石英、陶瓷、硅、金属、石墨及碳、高分子复合材料制造、研发、维修，自营和代理各类商品和技术的进出口，但国家限定公司经营或禁止进出口的商品和技术除外。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动。）
主营业务
专业生产高纯石英器件，专注于为半导体芯片生产、太阳能光伏、光纤、LED及电光源等领域提供不可或缺的关键性耗材。
辽宁拓邦鸿基半导体材料有限公司
其他股份有限公司(非上市)
￥8,613万
2017-05-23
李景双
024-56856688
lisiyao@tbhj.net
辽宁省沈抚示范区沈东四路89号