产品&解决方案
铠欣半导体提供的核心解决方案包括研发、制造和服务碳化硅陶瓷零部件，专注于半导体外延设备中CVD（化学气相沉积）过程的石墨基座和热场系统。该方案利用完全自主知识产权的CVD核心技术，用于在基片上实现均匀、高质量的半导体材料外延沉积，已在多个领域实现量产供应。
由整块碳化硅材料加工成型的高端陶瓷零部件。通过精密加工达到纳米级表面光洁度和严格尺寸公差。产品具备高纯度（>99.9%）和优异的力学性能，如低热膨胀系数和高断裂韧性。主要应用于半导体设备的结构支撑、热交换器和衬底等核心部位，提升设备的可靠性和工艺效率。
基于烧结工艺制造的精密陶瓷零部件，材料为碳化硅。具有高硬度、优良的耐腐蚀性和高温抗氧化性（可承受1500°C以上），适用于半导体设备的腐蚀性环境。具体用途包括反应腔盖板、喷嘴和绝缘件等关键区域，确保设备在苛刻条件下的长期稳定性。
一体化热管理解决方案，包括热场设计、控制模块和相关组件。旨在提供半导体外延设备中的温度均匀分布和精准控制，减少热应力，提升生产效率。解决方案涵盖从热场系统建模到安装调试的全过程，适应多种半导体材料和工艺需求。
用于半导体外延设备的核心零部件，由碳化硅石墨材料制成，提供高温环境下的机械稳定性和热传导性。该产品基于化学气相沉积（CVD）技术，优化半导体的外延生长过程，适用于SiC、GaN等第三代半导体制造。具体应用于支持晶圆在反应腔中的沉积和热处理，确保均匀加热和设备可靠性。
融资次数
3
员工数量
小于50人
专利数量
2
公司简介
铠欣半导体是一家半导体外延设备核心零部件研发商，专注于半导体设备碳化硅陶瓷零部件的研发、制造与服务，拥有完全自主知识产权的CVD核心技术。核心产品是半导体外延设备CVD碳化硅石墨基座及热场整体解决方案，产品已在多家Si半导体、SiC、GaN等第三代半导体及LED光电等领域标杆客户实现量产供应。此外，公司还在烧结碳化硅陶瓷、块体碳化硅陶瓷等高端陶瓷零部件领域有丰富的技术储备。
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；电力电子元器件制造；电子元器件制造；电子元器件批发；电子专用设备制造；电子专用设备销售；半导体器件专用设备制造；半导体分立器件制造；半导体照明器件制造；半导体照明器件销售；半导体器件专用设备销售；光电子器件制造；电子产品销售；特种陶瓷制品销售；电子专用材料制造；电子专用材料销售；电子专用材料研发；新型膜材料销售；新材料技术推广服务；新材料技术研发；石墨及碳素制品制造；石墨及碳素制品销售；信息技术咨询服务；进出口代理；销售代理；国内贸易代理；技术推广服务；科技推广和应用服务；新型陶瓷材料销售；企业管理咨询（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
半导体外延设备CVD碳化硅石墨基座及热场整体解决方案的研发、制造与服务
苏州铠欣半导体科技有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥1,397万
2022-01-27
贺鹏博
13873789226
中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区星湖街328号创意产业园4-B602