化学气相沉积（CVD）碳化硅陶瓷技术
铠欣半导体拥有完全自主知识产权的CVD技术，专用于制造半导体外延设备中的碳化硅陶瓷零部件，如石墨基座及热场整体解决方案。该技术的创新点在于采用优化的高温气相沉积工艺，实现高纯度（>99.999%）、高密度的碳化硅涂层，提升热传导均匀性和表面附着力，减少沉积缺陷，确保在苛刻外延环境中长期稳定运行。通过精确控制温度、气流和反应参数，该技术显著提高零部件的热稳定性和化学惰性，支持多种半导体材料的兼容外延。
融资次数
4
员工数量
小于50人
专利数量
2
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；电力电子元器件制造；电子元器件制造；电子元器件批发；电子专用设备制造；电子专用设备销售；半导体器件专用设备制造；半导体分立器件制造；半导体照明器件制造；半导体照明器件销售；半导体器件专用设备销售；光电子器件制造；电子产品销售；特种陶瓷制品销售；电子专用材料制造；电子专用材料销售；电子专用材料研发；新型膜材料销售；新材料技术推广服务；新材料技术研发；石墨及碳素制品制造；石墨及碳素制品销售；信息技术咨询服务；进出口代理；销售代理；国内贸易代理；技术推广服务；科技推广和应用服务；新型陶瓷材料销售；企业管理咨询（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
半导体外延设备CVD碳化硅石墨基座及热场整体解决方案的研发、制造与服务
苏州铠欣半导体科技有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥1,397万
2022-01-27
贺鹏博
13873789226
中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区星湖街328号创意产业园4-B602