碳化硅CVD外延设备
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产品详情
纳设智能的碳化硅CVD外延设备专门用于第三代半导体材料SiC的外延生长。该系统采用高温反应腔设计，支持温度控制范围为500°C至1600°C，配备多区域精确加热和气体流量控制系统，确保高纯度单晶薄膜生长。设备适用于6英寸至8英寸晶圆加工，具备原位监测技术以实现厚度均匀性（标准偏差小于3%）和缺陷密度控制（低于10^5 cm^-2），主要应用于电动汽车、光伏逆变器等功率器件的批量生产。结合先进的安全联锁机制和模块化结构，便于维护和升级。
融资次数
4
员工数量
小于50人
专利数量
57
公司简介
深圳市纳设智能装备有限公司致力于第三代半导体、新型二维材料（TMDs)、石墨烯、碳纳米管等先进材料制造装备(CVD、MOCVD等）的研发、生产、销售和应用推广。
经营范围
一般经营项目是：电子设备的技术服务、技术转让、技术咨询；电子机械设备的销售；计算机和控制系统的软硬件开发和销售；货物及技术进出口。，许可经营项目是：半导体产品、电子仪器、电子设备的研发、生产及销售。
主营业务
研发、生产和销售用于第三代半导体、二维材料（TMDs）、石墨烯及碳纳米管等先进材料制造的化学气相沉积（CVD）和金属有机化学气相沉积（MOCVD）设备
深圳市纳设智能装备有限公司
股份有限公司(非上市、自然人投资或控股)
￥1.218亿
2018-10-29
陈炳安
0755-23243345
contact@naso-tech.com
深圳市光明区凤凰街道凤凰社区观光路招商局光明科技园A6栋1B