产品&解决方案
该系统包括设计、规划、安装和施工全套解决方案，用于半导体设施中的高纯气体输送和供应。涉及管道网络、净化单元、分配阀组和智能控制系统，确保气体如锗烷、硅烷等保持超高纯度（低于0.1ppm杂质）和安全。符合国际标准SEMI S2/S8，提升芯片厂的制程稳定性和效率。
超高纯乙硼烷用于硼掺杂在硅半导体中，形成P型硅层，优化晶体管性能。气体纯度高，杂质如碳氢化合物被严格限制在ppb级别。博纯材料的乙硼烷产品在扩散炉和离子注入工艺中广泛应用，支持高端芯片的生产需求。
超高纯磷烷在半导体制程中用于沉积含磷层和掺杂，提升器件的导电性能。其高纯度特性（如低金属杂质）确保在先进节点的可靠性。常见应用包括MOSFET制造和光电半导体生产中，支持低温化学气相沉积过程。
超高纯砷化氢是一种高风险的掺杂气体，用于III-V族半导体（如砷化镓GaAs）的沉积和掺杂工艺。纯度需控制极严格以避免爆炸风险，并确保精确的电子特性调整。应用包括射频器件和光电子设备的制造。博纯材料提供符合安全标准的封装和供应方案。
超高纯氨气在半导体制造中用于MOCVD（金属有机化学气相沉积）和刻蚀工艺，特别是在LED、功率半导体和光电器件的生产中。气体纯度高达99.999%以上，减少氧、水等杂质对制程的影响。博纯材料的氨气产品支持高温沉积过程，增强薄膜的均匀性和效率。
超高纯硅烷是半导体行业中的基础气体，用于沉积硅薄膜在晶圆上，支持微电子器件如存储器芯片和太阳能电池的生产。纯度控制在低ppm级别，确保无杂质污染。博纯材料提供的硅烷气体广泛应用于LPCVD和PECVD工艺，提升器件性能和良率。
超高纯锗烷是一种关键的特种电子气体，主要用于半导体制造中的化学气相沉积（CVD）过程，沉积含锗薄膜以提高器件的导电性和稳定性。其纯度可达99.9999%（6N）以上，满足先进制程的要求。应用领域包括高k介电材料沉积和锗硅（SiGe）半导体生产，是博纯材料的核心产品之一。
融资次数
7
员工数量
100-499人
专利数量
124
公司简介
博纯材料是一家特种电子气体及材料研发生产商，是先进半导体制程的博纯超高纯锗烷生产基地，公司主营超高纯电子气体；超高纯气体化学品整体供应系统的设计规划与安装施工，其产品包括为芯片制造至关重要的特种电子气体和材料。在该领域，美国、韩国和日本的厂家处于垄断地位。
经营范围
锗烷的生产，经许可的危险化学品的批发与零售（具体项目以危险化学品经营许可证载明的为准）。电子专用材料、电子化学品、高纯度的电子级气体、电子级特殊气体等精细化工产品开发与制造（不含危险化学品）；光伏产业、半导体产业及其他相关电子产业材料的批发（不含危险化学品）和技术咨询服务；新材料技术推广服务；仓储租赁服务（不含危险化学品）；货物或技术进出口（国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
主营业务
博纯材料的主营业务是超高纯特种电子气体的研发、生产及提供相关的供气系统整体解决方案，服务于半导体产业链中的芯片制造核心环节，致力于实现国产化替代和技术突破。
博纯材料股份有限公司
股份有限公司(台港澳与境内合资、未上市)
￥1.1536亿
2009-09-03
陈国富
13559075275
plin@spectrummat.com
福建省泉州市永春县下洋镇大荣村356号