超高纯气体化学品整体供应系统
该技术涵盖气体纯化、存储、分配和实时监测系统的集成设计，核心创新在于防污染架构（如惰性材料管路和自动吹扫机制）和数字化控制模块。系统通过模块化设计实现无缝集成，达到超高纯度要求（如O₂和H₂O杂质低于1 ppb），应用于半导体晶圆厂的持续气体供应场景。
超高纯锗烷生产技术
博纯材料专注于锗烷（GeH4）气体的开发与生产，其核心技术在于实现杂质含量低于10 ppb的超高纯度标准（符合SEMI标准），用于化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）工艺。关键创新点包括精密的气体提纯技术（如多级吸附和低温蒸馏）和大规模生产工艺的稳定性控制，确保锗烷在先进半导体制程中对锗基薄膜沉积的高精度需求。
融资次数
7
员工数量
100-499人
专利数量
124
经营范围
锗烷的生产，经许可的危险化学品的批发与零售（具体项目以危险化学品经营许可证载明的为准）。电子专用材料、电子化学品、高纯度的电子级气体、电子级特殊气体等精细化工产品开发与制造（不含危险化学品）；光伏产业、半导体产业及其他相关电子产业材料的批发（不含危险化学品）和技术咨询服务；新材料技术推广服务；仓储租赁服务（不含危险化学品）；货物或技术进出口（国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
主营业务
博纯材料的主营业务是超高纯特种电子气体的研发、生产及提供相关的供气系统整体解决方案，服务于半导体产业链中的芯片制造核心环节，致力于实现国产化替代和技术突破。
博纯材料股份有限公司
股份有限公司(台港澳与境内合资、未上市)
￥1.1536亿
2009-09-03
陈国富
plin@spectrummat.com
福建省泉州市永春县下洋镇大荣村356号